创微微电子(常州)有限公司左国军获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉创微微电子(常州)有限公司申请的专利光罩甩干装置及清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223784623U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520504750.6，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型光罩甩干装置及清洗设备是由左国军;蔡嘉雄;孙伟;邱开宇设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩甩干装置及清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体生产设备制造领域，具体涉及一种光罩甩干装置及清洗设备。本装置包括：定位台，其一端转动设置有转轴；载片台，其安装在转轴上；其中，所述载片台上具有若干摆放工位；以及，光罩甩干时，转轴带动载片台绕定位台转动至相应摆放工位与光罩对齐，以使光罩嵌入对应摆放工位内。通过设置多个不同位置以及不同尺寸摆放工位，以适配不同尺寸的光罩，通过设置可旋转的载片台，以使在应对不同光罩时，将载片台旋转到相应的摆放工位。
本实用新型光罩甩干装置及清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种光罩甩干装置，其特征在于，包括： 定位台1，其一端转动设置有转轴11； 载片台2，其安装在转轴11上； 其中，所述载片台2上具有若干摆放工位3； 以及，光罩甩干时，转轴11带动载片台2绕定位台1转动至相应摆放工位3与光罩对齐，以使光罩嵌入对应摆放工位3内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人创微微电子(常州)有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市新北区黄河西路790号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励