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龙图腾网获悉上海徐汇科盛德半导体有限公司申请的专利一种除膜装置及除膜系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223784622U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520359308.9，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种除膜装置及除膜系统是由姜巍;杨国洪;王豪;贾洪民设计研发完成，并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种除膜装置及除膜系统在说明书摘要公布了：本申请提供一种除膜装置及除膜系统。除膜装置包括机台和两个拆除机构。其中，机台包括位于两端的固定基板和连接两个固定基板的多个导向杆，固定基板的表面垂直于第一方向，导向杆平行于第一方向设置。机台中设置有框状的容纳装置用于固定光刻版的四周，并将光刻版两侧的保护膜完全显露出来。两个拆除机构对称设置于容纳装置的两侧。拆除机构包括直线运动机构、加热器和多个固定爪，直线运动机构包括运动基板和运动推杆，加热器和固定爪设置于运动基板靠近容纳装置的一侧，固定爪的第一端设置夹持头。本申请的技术方案可以对双面贴保护膜的光刻版进行非接触式的双面同时除膜，可有效提升对此类光刻版的除膜效率，并降低工艺成本。

本实用新型一种除膜装置及除膜系统在权利要求书中公布了：1.一种除膜装置，用于对光刻版进行双面除膜，所述光刻版包括基板以及覆盖于所述基板两侧的保护膜，所述保护膜的膜框外侧设置多个夹持孔位，其特征在于，所述除膜装置包括： 机台1，包括位于两端的固定基板101和连接两个所述固定基板101的多个导向杆102，所述固定基板101的表面垂直于第一方向，所述导向杆102平行于第一方向设置；所述机台1中设置有框状的容纳装置103，所述容纳装置103用于固定光刻版的四周，并将光刻版两侧的保护膜完全显露出来； 两个拆除机构2，对称设置于所述容纳装置103的两侧；所述拆除机构2包括直线运动机构201、加热器202和多个固定爪203，所述直线运动机构201包括运动基板211和运动推杆212，所述加热器202和固定爪203设置于所述运动基板211靠近所述容纳装置103的一侧，所述固定爪203的第一端设置夹持头231； 使用时，所述直线运动机构201具有远离所述容纳装置103的第一工作位置和靠近所述容纳装置103的第二工作位置，当所述直线运动机构201到达所述第二工作位置时，所述夹持头231与光刻版膜框外侧的夹持孔位配合，实现所述拆除机构2与膜框的相对固定。

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