江苏纳沛斯半导体有限公司杨雪松获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏纳沛斯半导体有限公司申请的专利一种涂胶机CUP抽气系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223784621U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520086286.3，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种涂胶机CUP抽气系统是由杨雪松;陈宝康;潘顺利;张雄稚;苟良川设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶机CUP抽气系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种涂胶机CUP抽气系统，其包括底座，底座上安装有CUP，CUP的底部连接有排胶管道、抽气管道，所述CUP的内底部安装有内圈、wafer、wafer连杆，还包括CUP清洗系统，CUP清洗系统用于喷射清洗液清洗汇集在CUP底部的光阻丝，所述CUP清洗系统包括环绕在内圈外围的环状清洗管道、与清洗管道连接的供液管道，所述清洗管道上设有喷液结构。本实用新型通过在CUP内增加丙酮清洗管道，以清除因光阻丝堆积导致的抽气通道堵塞问题。在每片wafer旋涂后，系统会自动喷射丙酮清洗CUP内壁，以保持抽气通畅，从而提高产品良率，减少设备维护频率，提升设备利用率。
本实用新型一种涂胶机CUP抽气系统在权利要求书中公布了：1.一种涂胶机CUP抽气系统，其包括底座，底座上安装有CUP3，CUP3的底部连接有排胶管道1、抽气管道2，所述CUP3的内底部安装有内圈4、wafer5、wafer连杆6，其特征在于：还包括CUP清洗系统，CUP清洗系统用于喷射清洗液清洗汇集在CUP3底部的光阻丝，所述CUP清洗系统包括环绕在内圈4外围的环状清洗管道7、与清洗管道7连接的供液管道8，所述清洗管道7上设有喷液结构。
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