晶格(苏州)真空技术有限公司于粘粘获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉晶格(苏州)真空技术有限公司申请的专利一种半导体真空腔漏气监测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223783833U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520271982.1，技术领域涉及：G01M3/24；该实用新型一种半导体真空腔漏气监测装置是由于粘粘;刘方设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体真空腔漏气监测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体真空腔漏气监测装置，涉及半导体技术领域，该真空腔漏气监测装置，包括真空腔体和工艺腔体，所述真空腔体位于工艺腔体的一侧，所述真空腔体的底部安装有真空泵；还包括：第一输送管，其安装在真空腔体靠近工艺腔体的一侧，所述工艺腔体靠近真空腔体的一侧设置有第二输送管，固定套板对两个连接法兰进行连接固定，同时在固定套板的内壁设置超声波模块，利用气体流动产生的超声波信号进行监测，能够准确的捕捉到漏气的信号，并且在固定套板的外侧设置指示灯，当某一处产生泄漏时，超声波模块会使对应位置的指示灯闪烁，使得工作人员在进行维修检查的时候能够快速的找到漏气点进行维修。
本实用新型一种半导体真空腔漏气监测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体真空腔漏气监测装置，包括真空腔体1和工艺腔体3，所述真空腔体1位于工艺腔体3的一侧，所述真空腔体1的底部安装有真空泵2； 其特征在于：还包括： 第一输送管4，其安装在真空腔体1靠近工艺腔体3的一侧，所述工艺腔体3靠近真空腔体1的一侧设置有第二输送管5，所述第一输送管4和第二输送管5的连接端均设置有连接法兰8，且第一输送管4和第二输送管5均通过连接法兰8进行连接，所述连接法兰8的外部套设有固定套板7，所述固定套板7的内侧一体成型设置有内腔16，且固定套板7通过内腔16卡合在连接法兰8的外侧，所述内腔16的内壁上端设置有若干均匀分布的超声波模块13，所述超声波模块13的底部一侧设置有超声波发射头14，所述超声波模块13底部的另一侧设置有超声波接收头15。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人晶格(苏州)真空技术有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市相城区望亭镇华阳村锦阳路5号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励