晶格(苏州)真空技术有限公司于粘粘获国家专利权
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龙图腾网获悉晶格(苏州)真空技术有限公司申请的专利一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223783795U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520392009.5，技术领域涉及：G01L21/00；该实用新型一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置是由于粘粘;刘方设计研发完成，并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置，涉及真空度检测技术领域，该真空度检测装置，包括机体和检测箱，所述检测箱安装在机体的上端；还包括：进气管，其安装在检测箱的外部一侧，且进气管与检测箱内部连通，所述检测箱的另一侧外部设置有出气管，且出气管与检测箱内部连通，所述进气管远离检测箱的一端连接有过滤箱，在连接管和进气管之间设置过滤箱，连接管的另一端与镀膜设备的腔体连接，将腔体内部的气体通过连接管和进气管引入检测箱的内部，气体经过过滤箱时，通过滤芯将气体中含有的细微杂质进行隔离，使气体顺利的进入检测箱中进行检测，从而防止出现气体中细微杂质进入检测箱内部影响检测的结果。
本实用新型一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种PVD镀膜设备腔体真空度检测装置，包括机体1和检测箱2，所述检测箱2安装在机体1的上端； 其特征在于：还包括： 进气管5，其安装在检测箱2的外部一侧，且进气管5与检测箱2内部连通，所述检测箱2的另一侧外部设置有排气管4，且排气管4与检测箱2内部连通，所述进气管5远离检测箱2的一端连接有过滤箱7，且进气管5与过滤箱7内部连通，所述过滤箱7的内部一体成型设置有内槽13，且内槽13的上端为开放式设置，所述过滤箱7的另一端连接有连接管6，且连接管6与过滤箱7内部连通，所述内槽13的内部安装有滤芯11，且滤芯11安装在内槽13内部靠近进气管5的一端，所述过滤箱7的上端表面安装有盖板12，且盖板12通过连接轴进行开合活动。
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