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龙图腾网获悉威欣系统股份有限公司申请的专利用于FOUP的层距检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223783580U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520152728.X，技术领域涉及：G01B11/14；该实用新型用于FOUP的层距检测设备是由黄泳钊;谢旻浩;许志豪;郭金柱设计研发完成，并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于FOUP的层距检测设备在说明书摘要公布了：一种用于FOUP的层距检测设备，包含信号连接的层距量测装置与控制装置。所述层距量测装置的检测机构包括调移模块，及设置在所述调移模块的层距量测模块。所述层距量测模块包括两个第一影像撷取器。所述调移模块可传动所述第一影像撷取器移入FOUP的盒本体中。使所述第一影像撷取器对盒本体的多个侧承载凸肋进行影像撷取。所述控制装置可分析影像撷取结果以取得所述侧承载凸肋的侧边层距数据。通过以所述第一影像撷取器对所述侧承载凸肋进行影像撷取，再通过影像分析方式取得所述侧承载凸肋的间距的设计，能快速分析出所述侧承载凸肋的形变状态。

本实用新型用于FOUP的层距检测设备在权利要求书中公布了：1.一种用于FOUP的层距检测设备，适用于对所述FOUP的盒本体进行层距检测，所述盒本体设有开口，且所述盒本体的左右两内壁面分别突设有多个上下间隔且左右对称的侧承载凸肋，所述层距检测设备包含层距量测装置，及信号连接所述层距量测装置的控制装置，其特征在于：所述层距量测装置包括壳座，及设置于所述壳座上的至少一个检测机构，所述壳座具有用于供所述盒本体以开口朝前的方式设置定位的承载平台，所述至少一个检测机构包括设置于所述壳座上的调移模块，及设置在所述调移模块的层距量测模块，所述层距量测模块包括安装在所述调移模块的安装臂单元，及两个安装在所述安装臂单元的第一影像撷取器，所述调移模块能被控制以传动所述安装臂单元带动所述第一影像撷取器往后移入所述盒本体中，并传动所述安装臂单元带动所述第一影像撷取器相对所述盒本体上下位移，所述第一影像撷取器的影像撷取方向左右相背，每一个所述第一影像撷取器能朝位于对应方向的所述侧承载凸肋进行影像撷取以得到第一影像数据；所述控制装置括包控制模块及层距分析模块，所述控制模块能用于控制所述调移模块调移所述安装臂单元，所述层距分析模块分析每一个所述第一影像数据以取得对应的所述侧承载凸肋的侧边层距数据。

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