北京晶亦精微科技股份有限公司孙刚获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种气态异丙醇稳定输送系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223782655U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520628415.7，技术领域涉及：F17C9/02；该实用新型一种气态异丙醇稳定输送系统是由孙刚;蔡长益设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气态异丙醇稳定输送系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种气态异丙醇稳定输送系统，包括混合腔室、异丙醇输送管路以及载气输送管路，混合腔室通过主输送管路与清洗腔室相连，主输送管路上依次设有加热装置和稳压装置；异丙醇输送管路与混合腔室相连，其输入端连接有汽化装置，汽化装置连接有液态储罐；载气输送管路与混合腔室相连，其输入端与氮气源相连。本实用新型提供的一种气态异丙醇稳定输送系统，通过分别设置异丙醇输送管路和载气输送管路，便于更精确地控制气态异丙醇与氮气的混合比例，通过汽化装置提高了异丙醇的蒸发效率，通过在主输送管路上设置加热装置和稳压装置，能够有效稳定混合气体的压力并提升混合气体的温度，防止气态异丙醇冷凝，提高了清洗良率。
本实用新型一种气态异丙醇稳定输送系统在权利要求书中公布了：1.一种气态异丙醇稳定输送系统，与晶圆的清洗腔室10相连，用于向所述清洗腔室10内供送清洗介质，其特征在于，包括： 混合腔室1，通过主输送管路2与所述清洗腔室10相连，所述主输送管路2上依次设有加热装置21和稳压装置22； 异丙醇输送管路3，与所述混合腔室1相连，用于向所述混合腔室1内供送气态异丙醇，所述异丙醇输送管路3的输入端连接有汽化装置31，所述汽化装置31连接有液态储罐32；以及 载气输送管路4，与所述混合腔室1相连，用于向所述混合腔室1内供送氮气，所述载气输送管路4的输入端与氮气源41相连。
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