深圳市昇维旭技术有限公司胡良禄获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市昇维旭技术有限公司申请的专利炉管设备的供气管及炉管设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223782351U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520647777.0，技术领域涉及：F16L43/00；该实用新型炉管设备的供气管及炉管设备是由胡良禄;张强设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本炉管设备的供气管及炉管设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种炉管设备的供气管及炉管设备，该供气管包括：沿第一方向延伸且至少部分设置于炉管设备的反应腔外的第一直管部；沿与第一方向交叉的第二方向延伸且至少部分设置于反应腔内的第二直管部；连通在第一直管部与第二直管部之间的连接管部；其中，第一直管部远离连接管部一端的管口构成供气管的进气口，第二直管部上设置有供气管的出气口，连接管部包括至少一个弧形弯管部。改善特气在弯角处出现的扰流以及气体分压变化现象，从而改善薄膜沉积工艺中晶圆间以及晶圆内的膜厚均匀性；改善供气管中不同位置处沉积薄膜的厚度不一致现象，改善炉管设备的颗粒缺陷，避免沉积膜厚长期不均导致供气管断裂问题。
本实用新型炉管设备的供气管及炉管设备在权利要求书中公布了：1.一种炉管设备的供气管，其特征在于，包括： 沿第一方向延伸且至少部分设置于所述炉管设备的反应腔外的第一直管部； 沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸且至少部分设置于所述反应腔内的第二直管部； 连通在所述第一直管部与所述第二直管部之间的连接管部； 其中，所述第一直管部远离所述连接管部一端的管口构成所述供气管的进气口，所述第二直管部上设置有所述供气管的出气口，所述连接管部包括至少一个弧形弯管部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市昇维旭技术有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区新源三巷1号B栋104；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励