上海晶普材料科技有限公司刘晓东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海晶普材料科技有限公司申请的专利一种磁控溅射阴极的密封装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223782071U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520202369.4，技术领域涉及：F16J15/16；该实用新型一种磁控溅射阴极的密封装置是由刘晓东;沈露佳设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射阴极的密封装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于密封设备领域，公开一种磁控溅射阴极的密封装置，包括套设于主轴外侧的壳套；壳套与主轴呈同轴线放置，且壳套内侧直径大于主轴直径；壳套内侧周壁上固定有同轴线放置的骨架密封；骨架密封内侧沿主轴的轴线方向依次布置有三个承载环，相邻两承载环之间均留有间隙，承载环内侧周壁均与主轴外侧壁挤压接触，承载环外侧周壁均与骨架密封内侧周壁固定；密封装置任一端用于冷却水接触，靠近密封装置接触冷却水端的相邻两承载环的间隙通过润滑油脂进行填满；通过三层承载环及润滑油脂的配合设置，实现通过润滑油脂提高密封效果的同时，解决了现有技术中存在着骨架密封与主轴之间容易因磨损而造成密封效果降低的问题。
本实用新型一种磁控溅射阴极的密封装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射阴极的密封装置，包括套设于主轴100外侧的壳套200，其特征在于： 壳套200与主轴100呈同轴线放置，且壳套200内侧直径大于主轴100直径； 壳套200内侧周壁上固定有同轴线放置的骨架密封300； 骨架密封300内侧沿主轴100的轴线方向依次布置有三个承载环400，相邻两承载环400之间均留有间隙，承载环400内侧周壁均与主轴100外侧壁挤压接触，承载环400外侧周壁均与骨架密封300内侧周壁固定； 密封装置任一端用于冷却水接触，靠近密封装置接触冷却水端的相邻两承载环400的间隙通过润滑油脂进行填满。
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