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龙图腾网获悉无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利一种晶圆传输平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223782067U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520415175.2，技术领域涉及：F16J15/02；该实用新型一种晶圆传输平台是由范雄;田文康;张笑语;王兆丰;王世宽设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆传输平台在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆传输平台，包括工艺舱件，所述工艺舱件的一侧固定连接有密封机构，所述密封机构的一侧固定连接有传输机构；所述密封机构包括第一壳体，所述第一壳体的下端为斜面，并且该斜面贴合在工艺舱件的斜面上，所述第一壳体的内部设置有密封板，所述第一壳体的上端固定连接有气缸；所述输送装置包括第二壳体，所述第二壳体的内部滑动设置有滑块，所述滑块的一侧固定连接有机械手，所述滑块的上端固定连接圆柱，所述第二壳体的下端固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有推杆，所述推杆中部设置有槽孔，并且圆柱配合在槽孔中。本发明，具有结构简单，易于生产检修的优点。

本实用新型一种晶圆传输平台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输平台，其特征在于，包括工艺舱件1，所述工艺舱件1的一侧固定连接有密封机构2，所述密封机构2的一侧固定连接有传输机构3，所述工艺舱件1和传输机构3之间设置有经过密封机构2的通道； 所述密封机构2包括第一壳体21，所述第一壳体21的下端为斜面，并且该斜面贴合在工艺舱件1的斜面上，所述第一壳体21的内部设置有密封板22，所述第一壳体21的上端固定连接有气缸24，所述气缸24的输出端和密封板22固定连接，并且在气缸24的推送下，使得密封板22贴靠在工艺舱件1的斜面上； 所述传输机构3包括第二壳体31，所述第二壳体31的内部滑动设置有滑块35，所述滑块35的一侧固定连接有机械手34，所述滑块35的上端固定连接圆柱，所述第二壳体31的下端固定连接有驱动电机32，所述驱动电机32的输出端贯穿延伸至第二壳体31的内部，所述驱动电机32的输出端固定连接有推杆33，所述推杆33中部设置有槽孔，并且圆柱配合在槽孔中。

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