深圳平湖实验室王鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳平湖实验室申请的专利一种MPCVD系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223780391U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423075550.8，技术领域涉及：C30B25/08；该实用新型一种MPCVD系统是由王鹏;胡浩林;张道华;崔新春;米天和;万玉喜设计研发完成，并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MPCVD系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种MPCVD系统，该MPCVD系统包括炉体、沉积台、连接杆、微波输入装置和偏压装置；炉体内部具有反应腔，炉体包括底板、进气孔和出气孔；沉积台位于反应腔内；微波输入装置包括微波电源和微波传输模块，微波电源位于炉体外，微波传输模块用于将微波电源产生的微波传输到反应腔内；连接杆贯穿炉体，连接杆的第一端与沉积台连接；偏压装置包括偏压电源和引入线，偏压电源位于炉体外侧，偏压电源的一端接地，偏压电源的另一端与引入线的第一端连接，引入线穿过连接杆的中空腔，引入线的第二端与沉积台电连接。该MPCVD系统将金刚石偏压形核和沉积生长一体化，能够提高金刚石沉积速率和金刚石有效沉积直径。
本实用新型一种MPCVD系统在权利要求书中公布了：1.一种MPCVD系统，其特征在于，包括炉体、沉积台、连接杆、微波输入装置和偏压装置； 所述炉体内部具有反应腔，所述炉体包括底板、进气孔和出气孔； 所述沉积台位于反应腔内，所述沉积台背离所述底板的一侧用于放置衬底； 所述微波输入装置包括微波电源和微波传输模块，所述微波电源位于所述炉体外，所述微波传输模块与所述微波电源和所述沉积台连接，所述微波传输模块用于将所述微波电源产生的微波传输到所述反应腔内； 所述连接杆贯穿所述炉体，所述连接杆的第一端与所述沉积台连接，所述连接杆具有中空腔； 所述偏压装置包括偏压电源和引入线，所述偏压电源位于所述炉体外侧，所述偏压电源的一端接地，所述偏压电源的另一端与所述引入线的第一端连接，所述引入线穿过所述连接杆的中空腔，所述引入线的第二端与所述沉积台电连接。
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