江苏实为半导体科技有限公司刘鲁获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏实为半导体科技有限公司申请的专利一种MOCVD反应腔用加热板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223780361U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520327382.2，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型一种MOCVD反应腔用加热板是由刘鲁;黎静设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MOCVD反应腔用加热板在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种MOCVD反应腔用加热板，包括加热板本体，所述加热板本体设置有一对，一对所述加热板本体以对称的方式设置，一对所述加热板本体均包括加热丝，所述加热丝以弧形的方式缠绕而成，一对所述加热板相互靠近位置的加热丝以竖直的方式设置，所述加热丝的一端一体成型有第一电极脚，所述加热丝的另一端一体成型有第二电极脚。本实用新型将加热板的圆弧末端经过几何处理，变成直线末端，使得对称性更好；加热板组成圆之后，在电阻不变的情况下使得温度均匀性更好；由于加热板均以直线做边界，安装后便于测量实际是否为标准尺寸；上机使用受热膨胀后，便于观察失效形式的极限尺寸。
本实用新型一种MOCVD反应腔用加热板在权利要求书中公布了：1.一种MOCVD反应腔用加热板，包括加热板本体，其特征在于，所述加热板本体设置有一对，一对所述加热板本体以对称的方式设置，一对所述加热板本体均包括加热丝，所述加热丝以弧形的方式缠绕而成，一对所述加热板相互靠近位置的加热丝以竖直的方式设置，所述加热丝的一端一体成型有第一电极脚，所述加热丝的另一端一体成型有第二电极脚。
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