深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司许林华获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利ALD设备的进出舟输送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223780358U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423313926.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型ALD设备的进出舟输送装置是由许林华;张勇;李学文;刘兵吉;毛纯湖;王克农设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本ALD设备的进出舟输送装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种ALD设备的进出舟输送装置，其中ALD设备的进出舟输送装置包括固定架、舟托机构、储舟机构及输送机构，输送机构上设置有舟托在位检测模块和第一舟在位检测模块，舟托在位检测模块用于检测输送机构上是否有舟托机构，第一舟在位检测模块用于检测位于舟移栽位的舟托机构上是否有载片舟，本实用新型提高了载片舟移载的准确性，进而能够降低进出舟输送装置的故障率；本实用新型还设置输送机构采用双模组的同步带输送结构；本实用新型还设置独立的舟托机构用来托载载片舟，实现分离式的托载和输送；本实用新型还在舟托机构和输送机构上设置导向校位结构，所设计的导向校位结构在实际运动中能够很好地实现舟托机构的精准定位。
本实用新型ALD设备的进出舟输送装置在权利要求书中公布了：1.一种ALD设备的进出舟输送装置，其特征在于，包括： 固定架； 舟托机构，用于承载载片舟； 储舟机构，安装在所述固定架上，用于暂存所述舟托机构； 输送机构，安装在所述固定架上并位于所述储舟机构上方，其两端分别为舟托进出位和舟移栽位，用于将所述舟托机构在所述舟托进出位与所述舟移栽位之间来回传送； 其中，所述输送机构上设置有舟托在位检测模块和第一舟在位检测模块，所述舟托在位检测模块用于检测所述输送机构上是否有所述舟托机构，所述第一舟在位检测模块用于检测位于所述舟移栽位的所述舟托机构上是否有所述载片舟。
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