深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司何楷桁获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利一种ALD设备的反应室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223780357U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423313912.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种ALD设备的反应室是由何楷桁;张勇;廖凯;刘兵吉;李学文设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种ALD设备的反应室在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种ALD设备的反应室，包括外腔体，外腔体横截面呈方形，外腔体四角采用圆角过渡；前法兰，连接于外腔体轴向一端周侧；后法兰，连接于外腔体轴向另一端周侧；纵向加强筋，设于外腔体的各个外侧面与相邻圆角的相切处，并沿外腔体的轴向连接于前法兰和后法兰之间；多个横向加强筋，间隔设置于外腔体的各个外侧面，并垂直于外腔体的轴向连接于相邻纵向加强筋之间。本实用新型提供的ALD设备的反应室的方形外腔体有效利用了圆形外腔体无法利用的圆弧处内部空间，提高反应室空间利用率，使内反应腔宽度和高度可满足加宽、加高的金属舟和更大的加热器，大幅提升设备产能；反应室保持适配原有圆形外腔体的机架层高、安装位置和配合。
本实用新型一种ALD设备的反应室在权利要求书中公布了：1.一种ALD设备的反应室，其特征在于，包括： 外腔体1，所述外腔体1的横截面呈方形，外腔体1的四角采用圆角12过渡； 前法兰2，连接于外腔体1的轴向一端周侧； 后法兰3，连接于外腔体1的轴向另一端周侧； 纵向加强筋4，设于外腔体1的各个外侧面11与相邻圆角12的相切处，并沿外腔体1的轴向连接于所述前法兰2和所述后法兰3之间； 多个横向加强筋5，间隔设置于外腔体1的各个外侧面11，并垂直于外腔体1的轴向连接于相邻所述纵向加强筋4之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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