中微半导体设备(上海)股份有限公司陈佳波获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利气体喷淋头、喷淋头组件以及化学气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223780356U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423152151.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气体喷淋头、喷淋头组件以及化学气相沉积装置是由陈佳波;徐立;吴红星;吕术亮;李雪子设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体喷淋头、喷淋头组件以及化学气相沉积装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种气体喷淋头、喷淋头组件以及化学气相沉积装置。所述气体喷淋头包括：喷淋头本体，其上设有容纳槽；加热器，容置于容纳槽的底部；封堵块，位于容纳槽的顶部且与喷淋头本体固定连接，用于封住容纳槽的顶部开口，封堵块在容纳槽中嵌入一定深度直到压制加热器接触容纳槽的底面。本实用新型用于提高气体喷淋头的传热效率和升温速度，提高机台的吞吐量。
本实用新型气体喷淋头、喷淋头组件以及化学气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种气体喷淋头，其特征在于，包括： 喷淋头本体，其上设有容纳槽； 加热器，容置于所述容纳槽的底部； 封堵块，位于所述容纳槽的顶部且与所述喷淋头本体固定连接，用于封住所述容纳槽的顶部开口，所述封堵块在所述容纳槽中嵌入一定深度直到压制所述加热器接触所述容纳槽的底面。
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