远东铜箔(宜宾)有限公司韩海亚获国家专利权
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龙图腾网获悉远东铜箔(宜宾)有限公司申请的专利一种制备复合箔材的真空系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223780348U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423238746.4，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种制备复合箔材的真空系统是由韩海亚;廖诗杰设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制备复合箔材的真空系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种制备复合箔材的真空系统，所述制备复合箔材的真空系统包括：前级泵组、分子泵组以及扩散泵组，所述前级泵组分别与所述分子泵组、扩散泵组、真空镀膜机的卷绕室以及真空镀膜机的镀膜室连通，所述分子泵组与所述卷绕室连通，所述扩散泵组与所述镀膜室连通，所述卷绕室以及镀膜室相连通，所述卷绕室与所述镀膜室之间设置有连通阀；所述前级泵组包括依次连通的机械泵组以及罗茨泵组。本实用新型实施例所述制备复合箔材的真空系统通过多级泵组实现抽真空，有效解决了极性高分子聚合物基膜材料吸水导致的真空度下降的问题，维持了真空腔体的真空度，提高整个真空镀膜过程中的生产效率并节约了真空泵组的能源消耗。
本实用新型一种制备复合箔材的真空系统在权利要求书中公布了：1.一种制备复合箔材的真空系统，用于真空镀膜机的抽真空处理，其特征在于，所述制备复合箔材的真空系统包括：前级泵组、分子泵组以及扩散泵组，所述前级泵组分别与所述分子泵组、扩散泵组、真空镀膜机的卷绕室以及真空镀膜机的镀膜室连通，所述分子泵组与所述卷绕室连通，所述扩散泵组与所述镀膜室连通，所述卷绕室以及镀膜室相连通，所述卷绕室与所述镀膜室之间设置有连通阀； 所述前级泵组包括依次连通的机械泵组以及罗茨泵组。
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