远东铜箔(宜宾)有限公司韩海亚获国家专利权
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龙图腾网获悉远东铜箔(宜宾)有限公司申请的专利一种高效的真空泵组系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223780347U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423220536.2，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型一种高效的真空泵组系统是由韩海亚;廖诗杰设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效的真空泵组系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种高效的真空泵组系统，包括：初始化泵组、分子泵组以及扩散泵组，所述初始化泵组分别与所述分子泵组、真空镀膜机的卷绕室以及真空镀膜机的镀膜室连通，所述分子泵组与卷绕室连通，所述扩散泵组分别与所述卷绕室以及镀膜室连通，所述卷绕室以及镀膜室相连通；所述扩散泵组与所述卷绕室的连接管线上分别设置有第一挡板阀以及第四挡板阀，所述第一挡板阀靠近所述卷绕室一端，所述第四挡板阀靠近所述扩散泵组一端；所述扩散泵组与所述镀膜室的连接管线上设置有第三挡板阀。本实用新型通过多级泵组实现抽真空，通过扩散泵组以及对应的挡板阀配合，并利用自循环的气管通路能够减少连续生产时扩散泵组的开关次数，提高了生产效率。
本实用新型一种高效的真空泵组系统在权利要求书中公布了：1.一种高效的真空泵组系统，用于真空镀膜机的抽真空处理，其特征在于，所述高效的真空泵组系统包括：初始化泵组、分子泵组以及扩散泵组，所述初始化泵组分别与所述分子泵组、真空镀膜机的卷绕室以及真空镀膜机的镀膜室连通，所述分子泵组与卷绕室连通，所述扩散泵组分别与所述卷绕室以及镀膜室连通，所述卷绕室以及镀膜室相连通； 所述扩散泵组与所述卷绕室的连接管线上分别设置有第一挡板阀以及第四挡板阀，其中，所述第一挡板阀靠近所述卷绕室一端，所述第四挡板阀靠近所述扩散泵组一端； 所述扩散泵组与所述镀膜室的连接管线上设置有第三挡板阀。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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