北京承宽真空科技有限公司武成民获国家专利权
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龙图腾网获悉北京承宽真空科技有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜机的散热结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223780340U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520330065.6，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射镀膜机的散热结构是由武成民;贾鸿儒;周艳军;张继兴设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜机的散热结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及镀膜机技术领域，特别是涉及一种磁控溅射镀膜机的散热结构，包括机壳，机壳一端固定有端板，机壳上设有多个磁控溅射靶机构，端板与磁控溅射靶机构对应位置开设有通孔，相邻的两个磁控溅射靶机构之间设有机座和隔板，机座固定在隔板端部，还包括用于对磁控溅射靶机构散热降温的散热机构。通过水流入到毛细管内来进行吸热，并通过多根毛细管来扩大整个吸热面积，同时水在进入到回流座内对叶轮冲刷使得扫风板跟随回流管进行旋转，从而来加快整个散热降温速度。
本实用新型一种磁控溅射镀膜机的散热结构在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜机的散热结构，包括机壳1，所述机壳1一端固定有端板3，所述机壳1上设有多个磁控溅射靶机构2，所述端板3与所述磁控溅射靶机构2对应位置开设有通孔，相邻的两个磁控溅射靶机构2之间设有机座6和隔板7，所述机座6固定在所述隔板7端部，其特征在于：还包括用于对所述磁控溅射靶机构2散热降温的散热机构4； 所述散热机构4包括进水管41，所述进水管41远离所述端板3的一端设有进水口，所述进水管41远离进水口的一侧设有回流座43，所述回流座43和所述进水管41之间设有多个环形分布的毛细管42，所述毛细管42伸入所述磁控溅射靶机构2内部的一端固定在所述回流座43切线方向，所述回流座43靠近所述进水管41的一侧转动连接有回流管44，所述回流管44远离所述回流座43的一端贯穿所述进水管41，所述回流管44伸入所述回流座43的一端固定有叶轮47，所述回流管44位于所述回流座43和所述进水管41之间设有两个对称的扫风板46。
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