安迈特科技(北京)有限公司;安迈特科技(湖州)有限公司李毅获国家专利权
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龙图腾网获悉安迈特科技(北京)有限公司;安迈特科技(湖州)有限公司申请的专利蒸发源装置及具有其的真空蒸镀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223780337U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422955672.X，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型蒸发源装置及具有其的真空蒸镀设备是由李毅;汪振南;张健;李永强;康远浩设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本蒸发源装置及具有其的真空蒸镀设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种蒸发源装置及具有其的真空蒸镀设备，蒸发源装置包括：电极模块，包括多组电极组件，各组电极组件包括阳极电极、阴极电极和蒸发舟；各组电极组件中的阳极电极、阴极电极和蒸发舟相独立设置，多组电极组件中的阴极电极可独立调节地设置；监测模块，用于监测各个蒸发舟的熔池状态；控制模块，与监测模块和电极模块均通讯连接，以在控制模块接收到监测模块发送的各个蒸发舟的熔池状态后，将各个蒸发舟的熔池状态与预设熔池状态相比较，并在蒸发舟的熔池状态与预设熔池状态不同时，调节相应的阴极电极和阳极电极。该蒸发源装置解决了现有技术中的蒸发源装置无法独立调控单个蒸发舟的电极参数的问题。
本实用新型蒸发源装置及具有其的真空蒸镀设备在权利要求书中公布了：1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括： 电极模块，包括多组电极组件，各组所述电极组件包括阳极电极201、阴极电极202和蒸发舟203，各组所述电极组件中的所述阳极电极201和所述阴极电极202相对设置并共同夹紧相应的所述蒸发舟203；各组所述电极组件中的阳极电极201、阴极电极202和蒸发舟203相独立设置，多组所述电极组件中的所述阴极电极202可独立调节地设置； 监测模块，用于监测各个所述蒸发舟203的熔池状态； 控制模块，与所述监测模块和所述电极模块均通讯连接，以在所述控制模块接收到所述监测模块发送的各个所述蒸发舟203的熔池状态后，将各个所述蒸发舟203的所述熔池状态与预设熔池状态相比较，并在所述蒸发舟203的熔池状态与所述预设熔池状态不同时，调节相应的所述阴极电极202和所述阳极电极201，以使所述蒸发舟203的所述熔池状态恢复至所述预设熔池状态。
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