苏州海吉芯微电子有限公司赵成龙获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州海吉芯微电子有限公司申请的专利MEMS晶圆获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223779958U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520065134.5，技术领域涉及：B81C99/00；该实用新型MEMS晶圆是由赵成龙;刘新华;万蔡辛;何政达;谭海峰设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS晶圆在说明书摘要公布了：本申请公开了一种MEMS晶圆，MEMS晶圆包括多个子区域，每个子区域包括阵列排布的多个芯片，多个芯片包括：m个功能芯片和n个采样芯片，功能芯片和采样芯片的结构不同，n个采样芯片中的每个采样芯片分布设置在子区域中用以在测试MEMS晶圆时作为周围功能芯片的测试参考样本，其中，m为正整数，n为正整数，mn。本申请提出的MEMS晶圆可以在电性测试时，通过在子区域设置采样芯片，并以采样芯片的测试数据作为参照数据以提升MEMS晶圆的电性测试准确度。
本实用新型MEMS晶圆在权利要求书中公布了：1.一种MEMS晶圆，其特征在于，包括多个子区域，每个所述子区域包括阵列排布的多个芯片，所述多个芯片包括： m个功能芯片和n个采样芯片，所述功能芯片和所述采样芯片的结构不同，所述n个采样芯片中的每个采样芯片分布设置在所述子区域中用以在测试所述MEMS晶圆时作为周围功能芯片的测试参考样本， 其中，m为正整数，n为正整数，mn。
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