华耀光电科技股份有限公司荀耀获国家专利权
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龙图腾网获悉华耀光电科技股份有限公司申请的专利一种单晶圆棒固定卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223777495U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423275069.3，技术领域涉及：B28D7/04；该实用新型一种单晶圆棒固定卡盘是由荀耀;宋文杰;赵飞设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶圆棒固定卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及单晶圆棒固定设备技术领域，尤其是涉及一种单晶圆棒固定卡盘，包括上卡盘、下卡盘、若干连接组件以及自适应组件，上卡盘和下卡盘之间通过连接组件连接，自适应组件使得上卡盘底面贴合单晶圆棒的顶面；上卡盘上开设有上活动腔，下卡盘上开设有下活动腔，连接组件包括连接螺栓、浮动座以及限位座，浮动座位于上活动腔内，且浮动座能够在上活动腔内上下移动、偏转以及转动，浮动座和连接螺栓螺纹连接，浮动座顶面凸出形成有定位块，上活动腔顶面凹陷形成有与定位块相匹配的定位槽，通过连接组件的浮动式设计以及自适应组件的调节，使得下卡盘贴合单晶圆棒底面同时，也使得上卡盘底面贴合单晶圆棒具有倾斜角度的顶面。
本实用新型一种单晶圆棒固定卡盘在权利要求书中公布了：1.一种单晶圆棒固定卡盘，其特征在于，包括上卡盘1、下卡盘2、若干连接组件3以及自适应组件4，所述上卡盘1和下卡盘2之间通过连接组件3连接，所述自适应组件4使得上卡盘1底面贴合单晶圆棒的顶面； 所述上卡盘1上开设有上活动腔11，所述下卡盘2上开设有下活动腔21，所述连接组件3包括连接螺栓31、浮动座32以及限位座33，所述浮动座32位于上活动腔11内，且所述浮动座32能够在上活动腔11内上下移动、偏转以及转动，所述浮动座32和连接螺栓31螺纹连接，所述浮动座32顶面凸出形成有定位块321，所述上活动腔11顶面凹陷形成有与定位块321相匹配的定位槽12，所述限位座33滑动布置在下活动腔21内，所述限位座33和连接螺栓31的底部固定连接；当定位块321嵌合在定位槽12内，且连接螺栓31转动时，所述浮动座32和连接螺栓31能够相对转动。
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