济南光微半导体科技有限公司李明骏获国家专利权
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龙图腾网获悉济南光微半导体科技有限公司申请的专利掩膜基板双面抛光用的保持环隔圈部件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223776868U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520321339.5，技术领域涉及：B24B37/32；该实用新型掩膜基板双面抛光用的保持环隔圈部件是由李明骏;黄芸;单佩;孟晗;刘书常;芦可可;关蕾设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩膜基板双面抛光用的保持环隔圈部件在说明书摘要公布了：本申请提供了一种掩膜基板双面抛光用的保持环隔圈部件，属于精密光学器件加工技术领域。掩膜基板双面抛光用的保持环隔圈部件，包括:主体部，主体部上形成有适于嵌设基板工件的镂空区；支撑凸起，形成于主体部的顶表面，支撑凸起分布于镂空区的边缘处，支撑凸起适于在基板工件的抛光过程中抵接于抛光垫。本申请提供的掩膜基板双面抛光用的保持环隔圈部件，可以抑制抛光垫的褶皱回弹，避免抛光垫褶皱造成的基板工件塌角，提高掩膜基板抛光面的平坦度和抛光精度。
本实用新型掩膜基板双面抛光用的保持环隔圈部件在权利要求书中公布了：1.一种掩膜基板双面抛光用的保持环隔圈部件，其特征在于，包括: 主体部，所述主体部上形成有适于嵌设基板工件的镂空区； 支撑凸起，形成于所述主体部的顶表面，所述支撑凸起分布于所述镂空区的边缘处，所述支撑凸起适于在基板工件的抛光过程中抵接于抛光垫。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人济南光微半导体科技有限公司，其通讯地址为：250100 山东省济南市高新区临港街道机场路7617号西楼218-04-66号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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