苏州岽睿微电子科技有限公司陈纲庆获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州岽睿微电子科技有限公司申请的专利一种晶圆坯料化学刻蚀抛光处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223776867U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423269588.9，技术领域涉及：B24B37/10；该实用新型一种晶圆坯料化学刻蚀抛光处理装置是由陈纲庆;王族兵;黄学军;顾海华;戴世祥设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆坯料化学刻蚀抛光处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆加工装置技术领域，且公开了一种晶圆坯料化学刻蚀抛光处理装置，包括固定筒，所述固定筒的外表面固定套接有挡板，所述挡板的左侧固定安装有侧板。本实用新型通过设置竖杆、转动板、圆块和活动框，当在对晶圆坯料本体进行抛光处理时，可以通过启动动力电机，使得转轴带动圆板发生旋转，进而使得移动块带动圆块以转轴为轴心进行转动，使得圆块挤压推动活动框的内表面，带动活动框发生转动，使得活动框带动转动板以竖杆为轴心进行摆动，从而使得晶圆坯料本体能够不断的在抛光盘的顶部进行来回摆动，使得抛光液能够渗透进晶圆坯料本体和抛光盘之间，从而提高了对晶圆坯料本体的抛光效果。
本实用新型一种晶圆坯料化学刻蚀抛光处理装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆坯料化学刻蚀抛光处理装置，包括固定筒1，其特征在于：所述固定筒1的外表面固定套接有挡板2，所述挡板2的左侧固定安装有侧板3，所述侧板3顶部的右侧固定安装有竖杆4，所述竖杆4外表面的顶部活动套接有转动板5，所述转动板5顶部的右侧固定安装有驱动电机6，所述驱动电机6输出轴的另一端固定连接有圆轴7，所述圆轴7的底端延伸至转动板5的下方且与转动板5的内壁活动套接，所述圆轴7的底部固定连接有承载板8，所述承载板8的底部固定连接有晶圆坯料本体9，所述侧板3顶部的左侧固定安装有动力电机10，所述动力电机10输出轴的另一端固定连接有转轴11，所述转轴11的顶部固定连接有圆板12，所述圆板12的内部活动安装有移动块13，所述移动块13的顶部固定连接有圆块14，所述圆块14的外表面活动连接有活动框15，所述活动框15的右端与转动板5的左端固定连接。
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