中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司高文良获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利薄膜处理装置及半导体生产设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223776728U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423169371.0，技术领域涉及：B24B7/17；该实用新型薄膜处理装置及半导体生产设备是由高文良;刘杰设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本薄膜处理装置及半导体生产设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种薄膜处理装置及半导体生产设备，该薄膜处理装置包括驱动机构、传动组件和打磨组件，打磨组件通过传动组件与驱动机构驱动连接，传动组件包括第一传动组件，第一传动组件包括至少两个传动件，打磨组件包括至少两个平行设置的打磨件，每个打磨件套设在一个传动件上，每个打磨件随套设的传动件转动，待处理薄膜放置于至少两个打磨件之间，位于待处理薄膜两侧的打磨件的转动方向相反；其中，目标传动件与驱动机构驱动连接，其它传动件与目标传动件连接，目标传动件为至少两个传动件中的任一传动件，其它传动件为至少两个传动件中除目标传动件外的传动件。本实用新型能够实现对薄膜的自动打磨，提升打磨质量和效率。
本实用新型薄膜处理装置及半导体生产设备在权利要求书中公布了：1.一种薄膜处理装置，其特征在于，所述薄膜处理装置包括驱动机构、传动组件和打磨组件，所述打磨组件通过所述传动组件与所述驱动机构驱动连接； 所述传动组件包括第一传动组件，所述第一传动组件包括至少两个传动件，所述打磨组件包括至少两个平行设置的打磨件，每个打磨件套设在一个传动件上，每个打磨件随套设的传动件转动，待处理薄膜放置于所述至少两个打磨件之间，位于所述待处理薄膜两侧的打磨件的转动方向相反； 其中，目标传动件与所述驱动机构驱动连接，其它传动件与所述目标传动件连接，所述目标传动件为所述至少两个传动件中的任一传动件，所述其它传动件为所述至少两个传动件中除所述目标传动件外的传动件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：300385 天津市西青区西青经济开发区兴华道19号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励