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迈为技术(珠海)有限公司马林获国家专利权

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龙图腾网获悉迈为技术(珠海)有限公司申请的专利吹气机构及加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223776304U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520168410.0,技术领域涉及:B23K26/70;该实用新型吹气机构及加工设备是由马林;马运东;陈超;嵩佰亮;陈万群;王正根设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。

吹气机构及加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种吹气机构及加工设备,属于半导体加工技术的领域,其中,吹气机构包括基座、升降座、滑动座、喷嘴,以及除尘器;所述升降座滑设于所述基座,所述滑动座滑设于所述升降座,所述喷嘴滑动且转动式安装于所述滑动座以调节喷射角度,所述除尘器具有吸附端,所述除尘器安装于所述基座且所述除尘器的所述吸附端位于所述喷嘴处,所述升降座的滑动方向、所述滑动座的滑动方向、所述喷嘴的滑动方向两两相互垂直,所述喷嘴的转动轴线与所述喷嘴的滑动方向平行。本实用新型的吹气机构可以避免晶圆在激光切割时发生损伤,提高晶圆加工的质量。

本实用新型吹气机构及加工设备在权利要求书中公布了:1.一种吹气机构,其特征在于,包括: 基座11; 升降座12,滑设于所述基座11; 滑动座13,滑设于所述升降座12; 喷嘴14,滑动且转动式安装于所述滑动座13以调节喷射角度; 以及 除尘器15,具有吸附端; 所述除尘器15安装于所述基座11且所述除尘器15的所述吸附端位于所述喷嘴14处,所述升降座12的滑动方向、所述滑动座13的滑动方向、所述喷嘴14的滑动方向两两相互垂直,所述喷嘴14的转动轴线与所述喷嘴14的滑动方向平行。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人迈为技术(珠海)有限公司,其通讯地址为:519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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