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重庆康佳光电科技有限公司刘颖获国家专利权

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龙图腾网获悉重庆康佳光电科技有限公司申请的专利一种半导体基板的烤盘装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223775626U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423196999.X,技术领域涉及:B08B9/36;该实用新型一种半导体基板的烤盘装置是由刘颖;林人暐;耿锋设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体基板的烤盘装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体基板的烤盘装置,包括盘体、盖板、清洁刷和控制机构,所述盖板与所述盘体相对设置,所述清洁刷安装到所述盖板上,所述清洁刷的刷头位于所述盖板和所述盘体之间,所述清洁刷和所述盖板分别与所述控制机构连接,以控制所述盖板靠近所述盘体且控制所述清洁刷转动清洁所述盘体,或控制所述盖板远离所述盘体。通过本实用新型的半导体基板的烤盘装置,提高了良率及减少了机台报警提升稼动率。

本实用新型一种半导体基板的烤盘装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体基板的烤盘装置,其特征在于,包括盘体、盖板、清洁刷和控制机构,所述盖板与所述盘体相对设置,所述清洁刷安装到所述盖板上,所述清洁刷的刷头位于所述盖板和所述盘体之间,所述清洁刷和所述盖板分别与所述控制机构连接,以控制所述盖板靠近所述盘体且控制所述清洁刷转动清洁所述盘体,或控制所述盖板远离所述盘体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人重庆康佳光电科技有限公司,其通讯地址为:402760 重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号(1号厂房);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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