河北光森电子科技有限公司李宏业获国家专利权
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龙图腾网获悉河北光森电子科技有限公司申请的专利一种晶圆超声连续清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223775548U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422698887.8，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种晶圆超声连续清洗装置是由李宏业;夏光普;赵浩然设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆超声连续清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆超声连续清洗装置，具体涉及晶圆清洗装置技术领域包括连续清理池和放置篮机构，所述连续清理池的顶部固定安装直线导轨，所述直线导轨的顶部滑动安装有安装架，所述安装架的一侧固定安装有伸缩组件，所述伸缩组件的底部固定安装有夹持组件，所述放置篮机构的内部固定安装有滚动机构。该晶圆超声连续清洗装置，通过设置的直线导轨、安装架、伸缩组件之间的配合带动放置篮机构和其内部的晶圆，在连续清理池的内部进行连续多级清理，在清理过程中通过电机带动输出齿轮旋转，再通过输出齿轮、同步带、从动齿轮之间的配合，使四组夹辊同步旋转，进而晶圆旋转，可以使清洗液更均匀地覆盖晶圆表面，减少清洁死角。
本实用新型一种晶圆超声连续清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆超声连续清洗装置，包括连续清理池1和放置篮机构6，所述连续清理池1的顶部固定安装直线导轨2，所述直线导轨2的顶部滑动安装有安装架3，所述安装架3的一侧固定安装有伸缩组件4，所述伸缩组件4的底部固定安装有夹持组件5，所述放置篮机构6的内部固定安装有滚动机构7，其特征在于：所述滚动机构7包括安装板701和同步带705，所述安装板701固定安装在放置篮机构6的一侧，所述安装板701的一侧滑动安装有两组安装块702，所述安装块702的一侧旋转安装有两组夹辊703，所述安装块702的一侧旋转安装有输出齿轮704，所述夹辊703的一侧固定连接有从动齿轮706，所述同步带705套设安装在两组从动齿轮706和输出齿轮704的外壁，所述安装块702的一侧固定安装有电机707，所述电机707的输出轴通过联轴器固定连接在输出齿轮704的一侧。
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