合光光掩模科技(安徽)有限公司马振振获国家专利权
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龙图腾网获悉合光光掩模科技(安徽)有限公司申请的专利去胶装置以及半导体制造设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223775475U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423243801.9，技术领域涉及：B08B1/14；该实用新型去胶装置以及半导体制造设备是由马振振;张健澄设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本去胶装置以及半导体制造设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种去胶装置以及半导体制造设备，去胶装置包括：载台、刮板、擦拭工具以及驱动部；载台用于承载拆除保护膜后且留有残胶的掩模；刮板与擦拭工具分别与驱动部可拆卸地连接，以供在刮板与擦拭工具中择一使用；驱动部沿平行于载台的方向可移动，以驱动刮板或擦拭工具于掩模的表面移动，并去除掩模上的残胶。如此配置，通过将刮板和擦拭工具分别与驱动部可拆卸地连接，在使用刮板时可以不使用清洗液，而在使用擦拭工具时可以只蘸取少量清洗液，因此能够减少清洗液的用量，且不需要将清洗液喷洒在掩模表面，降低清洗液过多溢出至图形区的概率；使用刮板和擦拭工具对残胶进行清理，避免了人工擦拭带来的刮伤图形区的发生。
本实用新型去胶装置以及半导体制造设备在权利要求书中公布了：1.一种去胶装置，其特征在于，包括：载台、刮板、擦拭工具以及驱动部； 所述载台用于承载拆除保护膜后且留有残胶的掩模；所述刮板与所述擦拭工具分别与所述驱动部可拆卸地连接，以供在所述刮板与所述擦拭工具中择一使用；所述驱动部沿平行于所述载台的方向可移动，以驱动所述刮板或所述擦拭工具于所述掩模的表面移动，并去除所述掩模上的所述残胶。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合光光掩模科技(安徽)有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港经济示范区硕放路1号新桥集成电路科技园研发楼103-3室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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