无锡芯运智能科技有限公司旷贤国获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯运智能科技有限公司申请的专利一种用于晶圆清洗机的锡球分级回收装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223775316U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520019897.6，技术领域涉及：B07B1/04；该实用新型一种用于晶圆清洗机的锡球分级回收装置是由旷贤国;薛福成;奚铭轲;许祐诚设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆清洗机的锡球分级回收装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于晶圆清洗机的锡球分级回收装置，旨在解决现有的晶圆清洗流程中，未在回收过程中进行分类回收，在排液后仍需进行二次分拣的问题；本实用新型主要包括回收腔体、多层过滤件、进液管以及主排废管，该回收装置投入使用时沿重力方向设置，借助上级冲洗单元引入混有锡球的混合液进入装置内部，借助冲力以及重力无需额外动力源将锡球冲入到不同目数规格的过滤盒上，通过不同的滤网将不同规格的锡球留滞在对应的过滤盒中，从而实现锡球的分级回收，具有结构简单、高效的优势。同时，设置了液位检测件以及溢流口，能够实时检测锡球回收装置的内部液位状态，确保锡球回收装置的正常工作，并防止主排废口因堵塞导致的倒灌问题。
本实用新型一种用于晶圆清洗机的锡球分级回收装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆清洗机的锡球分级回收装置，其特征在于：包括回收腔体1，以及依次设置在回收腔体1内部的多层过滤件2，所述过滤件2沿腔体自上而下按照锡球的规格由大到小依次排布，所述回收腔体1的上部设置有多个用于连接上级清洗单元的进液管3，所述回收腔体1的下部设置有用于连接外部排废管道的主排废管4。
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