日月新半导体(苏州)有限公司李安艳获国家专利权
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龙图腾网获悉日月新半导体(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆涂胶设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223775267U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520112028.8,技术领域涉及:B05C11/10;该实用新型一种晶圆涂胶设备是由李安艳设计研发完成,并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆涂胶设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆涂胶技术领域,公开了一种晶圆涂胶设备,包括收集槽,收集槽外侧固定连接有支撑架,支撑架内顶端连接设有固定组件,收集槽内底端固定连接有支撑柱,支撑柱顶部连接设有回收组件;回收组件包括电机,电机的输出轴固定连接有固定板,固定板顶部固定连接有工作台;本实用新型与现有技术相比的优点在于:可以对晶圆边缘多余的胶液进行刮除并回收,避免胶液在不必要的地方浪费,有效避免多余的胶液四处流淌,提高了晶圆涂胶设备的回收率;可以在涂胶的同时对晶圆进行固定,防止晶圆因为离心力或者其他意外因素而从工作台上飞出,提高了晶圆涂胶设备的安全性。
本实用新型一种晶圆涂胶设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆涂胶设备,包括收集槽1,其特征在于:所述收集槽1外侧固定连接有支撑架11,所述支撑架11内顶端连接设有固定组件12,所述收集槽1内底端固定连接有支撑柱2,所述支撑柱2顶部连接设有回收组件3; 所述回收组件3包括电机4,所述电机4的输出轴固定连接有固定板5,所述固定板5顶部固定连接有工作台6,所述工作台6外侧滑动连接有刮板7,所述刮板7一端外部固定套接有橡胶套8,所述刮板7另一端底部固定连接有固定杆9,所述固定杆9一端固定连接有固定块10,所述固定块10一端固定连接在收集槽1内侧。
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