武汉楚兴技术有限公司刘欢获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉楚兴技术有限公司申请的专利光刻胶喷涂装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223775216U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422809522.8，技术领域涉及：B05C5/02；该实用新型光刻胶喷涂装置是由刘欢;黄雷设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶喷涂装置在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种光刻胶喷涂装置，涉及半导体技术领域，以解决相关技术中光刻胶喷涂装置对晶圆进行光刻胶涂覆的厚度不均匀的问题。本光刻胶喷涂装置包括壳体、基座、喷嘴和负离子雾化器。其中，壳体包括喷涂腔，基座设置于喷涂腔内，喷嘴设置于喷涂腔内，且与顶板连接，喷嘴的喷口朝向基座。负离子雾化器设置于喷涂腔内，且与壳体连接。本光刻胶喷涂装置用于对晶圆进行光刻胶涂覆。
本实用新型光刻胶喷涂装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶喷涂装置，其特征在于，包括： 壳体，包括喷涂腔； 基座，设置于所述喷涂腔内； 喷嘴，设置于所述喷涂腔内，且与所述喷涂腔的顶壁连接；所述喷嘴的喷口朝向所述基座； 负离子雾化器，设置于所述喷涂腔内，且与所述壳体连接。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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