深圳平湖实验室;西安理工大学汪雅馨获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳平湖实验室;西安理工大学申请的专利半导体器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120980919B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511494428.0,技术领域涉及:H10D30/65;该发明授权半导体器件是由汪雅馨;杨媛;夏云;武文强;陈刚;王珩;王曦;万玉喜设计研发完成,并于2025-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体器件在说明书摘要公布了:本公开提供了一种半导体器件,涉及半导体芯片技术领域,旨在解决半导体器件电场分布不均匀问题;该半导体器件,包括:衬底、外延层、源极、漏极、栅极和电场调制区;外延层设于衬底上;源极、漏极和栅极嵌设于外延层;电场调制区,设于外延层远离衬底的一侧,且嵌设于外延层;电场调制区包括相互连接的第一电场调制子区和第二电场调制子区,第二电场调制子区包括第一部分和第二部分;第一部分位于第一电场调制子区远离衬底的一侧,第二部分位于第一电场调制子区远离漏极的一侧;第一部分和第二部分相连接,第一电场调制子区的掺杂类型与外延层的掺杂类型相同,第二电场调制子区的掺杂类型与外延层的掺杂类型不同;掺杂类型为P型掺杂和N型掺杂。
本发明授权半导体器件在权利要求书中公布了:1.一种半导体器件,其特征在于,包括: 衬底; 外延层,设于所述衬底上; 源极、漏极和栅极,设于所述外延层远离所述衬底的一侧;所述源极和所述漏极嵌设于所述外延层,所述栅极位于所述源极和所述漏极之间; 电场调制区,设于所述外延层远离所述衬底的一侧,且嵌设于所述外延层,且设于所述漏极和所述栅极之间;所述电场调制区包括第一电场调制子区和第二电场调制子区,所述第二电场调制子区包括第一部分和第二部分;所述第一部分位于所述第一电场调制子区远离所述衬底的一侧,且与所述第一电场调制子区接触;所述第二部分位于所述第一电场调制子区远离所述漏极的一侧,且与所述第一电场调制子区接触;所述第一部分和所述第二部分相连接; 所述第一电场调制子区的掺杂类型与所述外延层的掺杂类型相同,所述第二电场调制子区的掺杂类型与所述外延层的掺杂类型不同;所述掺杂类型为P型掺杂或N型掺杂。
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