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珠海诚锋电子科技有限公司张腾获国家专利权

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龙图腾网获悉珠海诚锋电子科技有限公司申请的专利一种晶圆边缘检测机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120824225B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511254873.X,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种晶圆边缘检测机构是由张腾;郑明国设计研发完成,并于2025-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆边缘检测机构在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶圆边缘检测机构,属于晶圆检测技术领域。包括晶圆校准器,所述晶圆校准器的内部滑动连接有软胶吸盘,所述软胶吸盘的顶部活动连接有晶圆,远离所述晶圆校准器的一端设置有支撑架,所述支撑架的顶部滑动连接有相机,所述相机的底部固定连接有对焦电缸,所述支撑架的一端固定连接有升降电缸。本发明通过设置辅助支撑组件和驱动校位组件,可改善不同尺寸晶圆检测过程中的倾斜,并缓解晶圆校准器本身振幅带来的影响,驱动电机直接驱动软性驱动轮带动晶圆进行转动,减少晶圆振动影响,提高相机对晶圆边缘采集的稳定性,环形光源表明清洁性能够提供均匀、稳定的照明,减少光线反射和阴影对检测结果的影响。

本发明授权一种晶圆边缘检测机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆边缘检测机构,包括晶圆校准器,其特征在于,所述晶圆校准器的内部滑动连接有软胶吸盘,所述软胶吸盘的顶部活动连接有晶圆,远离所述晶圆校准器的一端设置有支撑架,所述支撑架的顶部滑动连接有相机,所述相机的底部固定连接有对焦电缸,所述支撑架的一端固定连接有升降电缸,所述支撑架的顶部一端固定连接有环形光源,所述软胶吸盘的底部套接有辅助支撑组件,所述辅助支撑组件用于对晶圆的底部进行辅助支撑,所述辅助支撑组件与软胶吸盘的底部相连接; 驱动校位组件,所述驱动校位组件用于对晶圆提供转动的力,所述驱动校位组件与所述辅助支撑组件相连接; 擦拭调节组件,所述擦拭调节组件用于擦拭环形光源的表面灰尘,所述擦拭调节组件与所述环形光源相连接; 所述辅助支撑组件包括套接在软胶吸盘底部的升降盘,所述升降盘的底部固定连接有驱动气缸,所述驱动气缸的输出端固定连接在升降盘的底部,所述升降盘的顶部表面固定连接有多个滑槽架,多个所述滑槽架关于升降盘的轴心对称分布于升降盘的表面; 多个所述滑槽架的内部滑动连接滑动杆,所述滑动杆的顶部转动连接有支撑盘,所述支撑盘设置在升降盘的上方,所述软胶吸盘的底部固定连接有限位镂架,所述限位镂架与所述支撑盘之间活动连接,所述支撑盘的端部固定连接有多个支撑杆。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人珠海诚锋电子科技有限公司,其通讯地址为:519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇科技七路1号4栋6楼02单元;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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