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龙图腾网获悉上海朋熙半导体有限公司申请的专利用于晶圆加工机台稳定性评估的信息熵计算方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120765121B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511242479.4，技术领域涉及：G06Q10/0639；该发明授权用于晶圆加工机台稳定性评估的信息熵计算方法及设备是由涂世骏;刘欣欣;李益清设计研发完成，并于2025-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆加工机台稳定性评估的信息熵计算方法及设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种用于晶圆加工机台稳定性评估的信息熵计算方法及设备，通过获取由FDC系统采集的全量高维数据集，全量高维数据集中每个数据点对应于一组工艺参数值，具有多个维度的特征信息；对全量高维数据集进行归一化预处理，以消除各参数之间的量纲差异；遍历全量高维数据集，将每个数据点作为目标数据点，计算目标数据点与其余数据点的距离，并选取距离最近的K个数据点构成目标数据点的近邻集合；基于全部目标数据点的近邻集合，计算全量高维数据集的信息熵值。本申请采用信息熵作为度量指标，将复杂的高维参数运行状态转化为单一可比较的数值，能够对晶圆加工机台运行稳定性进行直观、量化的表征。

本发明授权用于晶圆加工机台稳定性评估的信息熵计算方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆加工机台稳定性评估的信息熵计算方法，其特征在于，包括： 获取由FDC系统采集的全量高维数据集，所述全量高维数据集中每个数据点对应于一组工艺参数值，具有多个维度的特征信息； 对所述全量高维数据集进行归一化预处理，以消除各参数之间的量纲差异； 遍历所述全量高维数据集，将每个数据点作为目标数据点，计算所述目标数据点与其余数据点的距离，并选取距离最近的K个数据点构成所述目标数据点的近邻集合； 基于全部所述目标数据点的近邻集合，计算所述全量高维数据集的信息熵值，包括： 在所述近邻集合中，按与所述目标数据点的距离大小升序排序，将第K个近邻数据点所对应的距离作为近邻距离； 以目标数据点为中心、以所述近邻距离为半径构建高维超球体，并计算所述高维超球体的体积； 基于所述高维超球体的体积，结合所述近邻距离、数据空间维度和数据样本总量，构建信息熵估计模型，并计算反映所述全量高维数据集整体不确定性的信息熵值，其中，所述信息熵值用于评估晶圆加工机台运行稳定性的量化指标。

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