中国科学院空天信息创新研究院陈德勇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院空天信息创新研究院申请的专利双模谐振式传感器及其闭环控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120740642B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511271991.1,技术领域涉及:G01D5/12;该发明授权双模谐振式传感器及其闭环控制方法是由陈德勇;夏文良;王军波;谢波;鲁毓岚设计研发完成,并于2025-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本双模谐振式传感器及其闭环控制方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种双模谐振式传感器,涉及传感器技术领域,包括:单谐振器,其谐振梁两侧设有第一差分检测电极对、第二差分检测电极对和驱动电极对;第一差分检测电极对对称设于谐振梁中部的两侧,用于检测单谐振器的一阶模态振动信号;第二差分检测电极对对称设于谐振梁一侧的两端,用于检测单谐振器的二阶模态振动信号;驱动电极对设于谐振梁另一侧的两端,用于对谐振梁施加交流驱动信号;闭环控制电路,其通过一对第一输入端连接第一差分检测电极对,其通过一对第二输入端连接第二差分检测电极对,其输出端连接驱动电极对,用于根据一阶模态振动信号和或二阶模态振动信号反馈调节交流驱动信号。本申请还提供了一种闭环控制方法。
本发明授权双模谐振式传感器及其闭环控制方法在权利要求书中公布了:1.一种双模谐振式传感器,其特征在于,包括: 单谐振器,其谐振梁两侧设有第一差分检测电极对、第二差分检测电极对和驱动电极对; 所述第一差分检测电极对对称设于所述谐振梁中部的两侧,用于检测所述单谐振器的一阶模态振动信号; 所述第二差分检测电极对对称设于所述谐振梁一侧的两端,用于检测所述单谐振器的二阶模态振动信号; 所述驱动电极对设于所述谐振梁另一侧的两端,与所述第二差分检测电极对相对,所述驱动电极对用于对所述谐振梁施加交流驱动信号; 闭环控制电路,其通过一对第一输入端连接所述第一差分检测电极对,其通过一对第二输入端连接所述第二差分检测电极对,其输出端连接所述驱动电极对,用于根据所述一阶模态振动信号和或所述二阶模态振动信号反馈调节所述交流驱动信号。
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