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龙图腾网获悉广东凯迪微智能装备有限公司申请的专利平边薄片晶圆放置旋转卡盘的精准检测方法与系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120521490B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510643353.1，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权平边薄片晶圆放置旋转卡盘的精准检测方法与系统是由江永设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本平边薄片晶圆放置旋转卡盘的精准检测方法与系统在说明书摘要公布了：半导体制造技术领域的平边薄片晶圆放置旋转卡盘的精准检测方法与系统，包括：在晶圆放置至旋转卡盘时，通过激光传感器扫描晶圆边缘与卡盘接触区域的搭接情况，得到边缘搭片的实时分布数据；从边缘搭片分布数据中提取平边位置信息，采用图像匹配算法对比预设的取向基准，确定取向偏差的具体角度值；根据取向偏差角度值和边缘搭片分布数据，通过协同控制算法调整旋转卡盘的转速与角度，得到晶圆在卡盘上的最终定位结果；获取最终定位结果后，通过深度学习模型对晶圆的到位状态进行分类判断，确定是否存在残余偏位或搭片现象；从分类判断结果中提取异常数据，针对异常数据调整搬运与放置的协同参数，得到优化的工艺控制方案。

本发明授权平边薄片晶圆放置旋转卡盘的精准检测方法与系统在权利要求书中公布了：1.平边薄片晶圆放置旋转卡盘的精准检测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤： S101、获取6寸平边薄片晶圆在搬运至旋转卡盘时的实时图像数据，通过高速摄像头针对晶圆表面特征进行连续采集，得到晶圆在动态搬运中的位置分布信息； S102、从位置分布信息中提取晶圆的边缘轮廓特征，采用边缘检测算法对图像数据进行处理，确定晶圆在搬运过程中的翘曲差异和初始偏位状态； S103、根据翘曲差异和初始偏位状态，计算晶圆在交接工况下的动态偏移趋势，通过预设的运动模型对搬运路径进行实时模拟，得到预测偏移量； S104、获取预测偏移量后，若预测偏移量超过预设的阈值，则通过调整伯努利效应的气流参数对搬运技术进行动态校准，判断晶圆在放置前的稳定状态； S105、在晶圆放置至旋转卡盘时，通过激光传感器扫描晶圆边缘与卡盘接触区域的搭接情况，得到边缘搭片的实时分布数据； S106、从边缘搭片分布数据中提取平边位置信息，采用图像匹配算法对比预设的取向基准，确定取向偏差的具体角度值； S107、根据取向偏差角度值和边缘搭片分布数据，通过协同控制算法调整旋转卡盘的转速与角度，得到晶圆在卡盘上的最终定位结果； S108、获取最终定位结果后，通过深度学习模型对晶圆的到位状态进行分类判断，确定是否存在残余偏位或搭片现象； S109、从分类判断结果中提取异常数据，针对异常数据调整搬运与放置的协同参数，得到优化的工艺控制方案。

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