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湖南大学梁世维获国家专利权

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龙图腾网获悉湖南大学申请的专利一种高压抗辐照碳化硅MOSFET结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120475743B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510823664.6,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权一种高压抗辐照碳化硅MOSFET结构及其制备方法是由梁世维;米卢;杨志帆设计研发完成,并于2025-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高压抗辐照碳化硅MOSFET结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高压抗辐照碳化硅MOSFET结构及其制备方法,属于半导体器件技术领域,包括:漏极金属;位于漏极金属上的SiCP++N++网络;位于P++N++网络上的N‑‑漂移区;位于N‑‑漂移区上的N型载流子存储层;位于N型载流子存储层上的MOS结构、层间介质和源极金属层;所述SiCP++N++网络中,P++网络比N++网络更深;所述N型载流子存储层内设有多个周期性重复的背靠背板凳型P阱,所述P阱区内设有N++阱区和P11++区;源极金属与所述P11++区、N++阱区相连。本发明通过结构创新与工艺协同优化,系统性解决了传统碳化硅MOSFET在高压辐照环境下的可靠性难题,为极端环境下功率器件的设计提供了技术方案。

本发明授权一种高压抗辐照碳化硅MOSFET结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高压抗辐照碳化硅MOSFET结构,其特征在于,包括: 漏极金属; 位于所述漏极金属上的SiCP+N+网络; 位于所述P+N+网络上的N-漂移区; 位于所述N-漂移区上的N型载流子存储层; 位于所述N型载流子存储层上的MOS结构、层间介质和源极金属层; 其中,所述SiCP+N+网络中,P+网络比N+网络更深,用于对N-漂移区和N+网络界面的N-N+结形成屏蔽保护,抑制单粒子辐照引起的背面雪崩击穿; 所述N型载流子存储层内设有多个周期性重复的背靠背板凳型P阱,所述P阱内设有N+阱区和P1+区,所述N+阱区边界和P阱边界之间形成沟道区; 所述MOS结构包括有多晶硅,多晶硅和碳化硅半导体之间设有薄层二氧化硅作为栅介质,所述多晶硅、栅介质和碳化硅半导体共同形成MOS结构; 所述沟道区位于MOS结构的多晶硅下方; 源极金属层与所述P1+区、N+阱区相连; 所述源极金属层和MOS结构之间设置有层间介质; 相邻背靠背板凳型的P阱形成下窄上宽的JFET结构,以增加单粒子辐照瞬间空穴抽取路径面积。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖南大学,其通讯地址为:410082 湖南省长沙市岳麓区麓山南路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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