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龙图腾网获悉陕西澳威激光科技有限公司申请的专利一种激光器放电腔内表面镀层及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120443127B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510963915.0，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种激光器放电腔内表面镀层及其制备方法是由石元;赵艳刚设计研发完成，并于2025-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光器放电腔内表面镀层及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种激光器放电腔内表面镀层及其制备方法，属于镀覆技术领域，包括以下步骤：步骤S1、采用NiCrAlHf合金靶材对预处理放电腔基材进行高功率脉冲磁控溅射沉积镀覆，得到底层镀覆后的放电腔基材；步骤S2、向底层镀覆后的放电腔基材表面喷涂聚苯乙烯微球，同时采用NiCrAlHf合金靶材和氧化钇靶材对完成底层镀覆后的放电腔基材进行高功率脉冲磁控溅射梯度镀覆，再进行真空退火处理，得到梯度镀覆后的放电腔基材；步骤S3、采用氧化钇靶材对梯度镀覆后的放电腔基材进行高功率脉冲磁控溅射沉积镀覆，得到顶层镀覆后的放电腔基材，再进行真空退火处理，得到激光器放电腔内表面镀层。本发明能够实现激光器放电腔内表面镀层抗侵蚀和不易脱落的目的。

本发明授权一种激光器放电腔内表面镀层及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种激光器放电腔内表面镀层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤S1、采用NiCrAlHf合金靶材对预处理放电腔基材进行高功率脉冲磁控溅射沉积镀覆，得到底层镀覆后的放电腔基材； 步骤S2、向底层镀覆后的放电腔基材表面喷涂聚苯乙烯微球，同时采用NiCrAlHf合金靶材和氧化钇靶材对完成底层镀覆后的放电腔基材进行高功率脉冲磁控溅射梯度镀覆，再进行真空退火处理，得到梯度镀覆后的放电腔基材； 步骤S3、采用掺杂氧化铒的氧化钇靶材对梯度镀覆后的放电腔基材进行高功率脉冲磁控溅射沉积镀覆，得到顶层镀覆后的放电腔基材，再进行真空退火处理，得到激光器放电腔内表面镀层； 所述梯度镀覆的操作包括以下步骤： 步骤S21、按照所述NiCrAlHf合金靶材与氧化钇靶材的金属原子比例为7:3的用量进行溅射镀覆，脉冲功率为9kW，脉宽为100μs，频率为1000Hz，偏压为-120V，气压为0.35Pa，气氛为ArO2混合气体，时间为3-4h； 步骤S22、按照所述NiCrAlHf合金靶材与氧化钇靶材的金属原子比例为1:1的用量进行溅射镀覆，气压为0.4Pa，时间为3-4h，其他条件不变； 步骤S23、按照所述NiCrAlHf合金靶材与氧化钇靶材的金属原子比例为3:7的用量进行溅射镀覆，气压为0.5Pa，气氛为ArO2混合气体，时间为4-5h，其他条件不变，完成梯度镀覆。

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