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龙图腾网获悉暨南大学申请的专利一种基于远场高频波的纳米位移测量装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120403448B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510662443.5，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种基于远场高频波的纳米位移测量装置及方法是由呼燕文;付神贺;张薪;陈振强;李真;尹浩设计研发完成，并于2025-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于远场高频波的纳米位移测量装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光学精密测量技术，为一种基于远场高频波的纳米位移测量装置及方法。其测量装置，包括空间光调制器和锐边衍射器；空间光调制器用于加载相图，生成相位非均匀分布的光场；锐边衍射器具有呈轴对称几何分布的锐边衍射结构，用于诱发远场高频衍射波；锐边衍射器对入射到其上的光场进行二元调制，诱发出具有轴对称几何分布的高频衍射波，高频衍射波在远场相干叠加形成亚波长周期的干涉条纹；入射到锐边衍射器的光场在锐边衍射结构的对称轴两边区域形成具有相位差的光场；通过空间光调制器调制相位差变化以调控高频衍射波的传播行为，使干涉条纹发生位移。本发明将干涉条纹作为一种刻度线进而度量待测目标，实现纳米位移测量。

本发明授权一种基于远场高频波的纳米位移测量装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于远场高频波的纳米位移测量装置，其特征在于，包括空间光调制器和锐边衍射器； 空间光调制器用于加载相图，生成相位非均匀分布的光场； 锐边衍射器，具有呈轴对称几何分布的锐边衍射结构，用于诱发远场高频衍射波；锐边衍射器对入射到其上的光场进行二元调制，诱发出具有轴对称几何分布的高频衍射波，高频衍射波在远场相干叠加形成亚波长周期的干涉条纹； 将空间调制器调制后的光场入射到锐边衍射器，在所述锐边衍射结构的对称轴两边区域形成第一光场和第二光场，且第一光场和第二光场具有相位差；通过空间光调制器调制所述相位差变化，进而调控高频衍射波的传播行为，使干涉条纹发生位移； 锐边衍射器包括透明衬底和制作于透明衬底上的薄膜，薄膜的厚度为百纳米量级或者几十纳米量级； 薄膜部分完全遮挡入射光场，无薄膜的透明衬底部分完全透过光场，则在薄膜的边缘产生锐边衍射效应，诱导出远场高频衍射波； 薄膜为镀在透明衬底上的厚度为60nm、外径为15μm、最大透光宽度为0.7μm的一对狭缝； 狭缝的形状为矩形、弓形或月牙形。

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