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深圳市新凯来工业机器有限公司高熙覃获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利一种顶针装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120048788B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510244771.3,技术领域涉及:H10P72/76;该发明授权一种顶针装置是由高熙覃;张俊生设计研发完成,并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种顶针装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种顶针装置,涉及半导体工艺设备技术领域。顶针装置包括顶针机构和升降机构;顶针机构包括顶针基座和固定于顶针基座上的顶针;升降机构中,升降轴固定连接于顶针基座,升降驱动器的输出端固定有运动基座,升降轴活动连接于运动基座上,并可随运动基座升降运动,阻尼件设于升降轴和运动基座之间,阻尼件可向升降轴提供阻力,以抵抗升降轴受到的外界偏转力。此种顶针装置中,顶针基座和升降轴的偏转具有同步性,在升降驱动器的输出端设置运动基座,并在运动基座和升降轴之间设置阻尼件,以抵抗升降轴受到的偏转力,可减少或避免升降轴的偏转,同步可实现对固定于升降轴的顶针基座的偏转进行补偿,从而提高顶针的运行精度。

本发明授权一种顶针装置在权利要求书中公布了:1.一种顶针装置,其特征在于,包括顶针机构3和升降机构2; 所述顶针机构3包括顶针基座32和固定于所述顶针基座32上的顶针31; 所述升降机构2包括升降轴21、升降驱动器24和阻尼件,所述升降轴21固定连接于所述顶针基座32,所述升降驱动器24的输出端固定有运动基座22,所述升降轴21活动连接于所述运动基座22上,并可随所述运动基座22升降运动,所述阻尼件设于所述升降轴21和所述运动基座22之间,所述阻尼件可向所述升降轴21提供阻力,以抵抗所述升降轴21受到的外界偏转力; 所述运动基座22上设有连接模块25,所述连接模块25的顶面为定位球面,所述升降轴21的底端抵于所述定位球面上; 所述运动基座22包括支撑板221和锁定件,所述锁定件可向上穿过所述支撑板221的连接孔2211后、固定连接所述升降轴21的底端,所述阻尼件为套设于所述锁定件外的弹性件23,所述弹性件23的两端分别抵于所述支撑板221和所述锁定件上的限位凸起之间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市新凯来工业机器有限公司,其通讯地址为:518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园6栋1301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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