湖北芯陶科技有限公司房纯君获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北芯陶科技有限公司申请的专利一种静电吸盘的贴合装置及工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119914599B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510007894.5,技术领域涉及:F16B11/00;该发明授权一种静电吸盘的贴合装置及工艺是由房纯君;李轶凡;李博;张昊伟;刘峰;张荦设计研发完成,并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种静电吸盘的贴合装置及工艺在说明书摘要公布了:本发明提供一种新型静电吸盘贴合装置及方法,包括真空操作腔体、上下压合面板、上下伸缩装置以及真空注胶注射装置。真空操作腔内部放入要贴合的静电吸盘,静电吸盘的金属基座和介电层之间放置等高固定块,等高固定块高度需要等于粘接层的厚度,粘接层的外边缘预留有灌注口,灌注口外连接真空注胶注射装置将粘接剂通过灌注口灌注到真空操作腔内的粘接层内部。本发明的贴合装置及方法制造的静电吸盘具有高粘接强度、无气泡等特点,且各粘接层中含有的异性腔室结构都能被粘接剂填充;边缘和内部导热系数一致,不会影响静电吸盘的温度均匀性,大面积粘接的缺陷控制较好。
本发明授权一种静电吸盘的贴合装置及工艺在权利要求书中公布了:1.一种静电吸盘贴合装置,其特征在于,包括真空操作腔体、气体系统、上压合面板、下压合面板、上伸缩装置、下伸缩装置、真空注胶注射装置; 所述上伸缩装置顶端与所述真空操作腔体的内顶面连接,所述上伸缩装置底端与所述上压合面板顶端连接,所述下伸缩装置底端与真空操作腔体的内底面连接,所述下伸缩装置顶端与所述下压合面板底端进行连接;所述上压合面板和下压合面板之间固定静电吸盘,所述上压合面板的底端与静电吸盘介电层的顶端固定连接,所述下压合面板的顶端与静电吸盘金属基座的底端固定连接; 所述上压合面板和所述下压合面板可以上下升降,升降距离可控;所述上压合面板和所述下压合面板保持0.5°以下的平行度;所述上压合面板和所述下压合面板保持20μm以下的平面度; 所述真空注胶注射装置的管道穿过真空操作腔体,所述管道的一端位于真空操作腔体外侧,另一端位于所述金属基座与所述介电层的侧面上;所述真空注胶注射装置内部与真空操作腔体密封连接; 所述真空注胶注射装置为均匀分布的两个或四个; 所述气体系统与所述真空操作腔体连通,所述真空操作腔体的上表面存在可视观察口。
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