东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司许鸿亮获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利电子光学系统校准装置及半导体检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119852227B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510031324.X，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权电子光学系统校准装置及半导体检测设备是由许鸿亮;米涛;张禧晨;张之光设计研发完成，并于2025-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子光学系统校准装置及半导体检测设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种电子光学系统校准装置及半导体检测设备，该电子光学系统校准装置包括柔性校准件和测量仪器；所述柔性校准件包括标定件和弹性件，所述标定件设有面向所述电子光学系统的极靴的校准端，所述校准端用于与所述极靴接触以校准所述电子光学系统的零位，所述校准端设有校准标识，所述校准标识用于为所述电子光学系统的调节提供参照，所述弹性件与所述标定件背向所述极靴的一端相连，所述弹性件用于发生弹性形变以为所述标定件接触所述极靴时提供缓冲；所述测量仪器与所述标定件及所述极靴电气连接，用于形成感应回路以在所述标定件与所述极靴接触时导通、分离时断开。本申请的校准精度高，有利于提高多个电子光学系统之间的互换性。
本发明授权电子光学系统校准装置及半导体检测设备在权利要求书中公布了：1.一种电子光学系统校准装置，其特征在于，包括： 柔性校准件2，用于校准电子光学系统，所述柔性校准件2包括标定件22和弹性件25，所述标定件22设有面向所述电子光学系统的极靴1的校准端，所述校准端用于与所述极靴1接触以校准所述电子光学系统的零位，所述校准端设有校准标识221，所述校准标识221用于为所述电子光学系统的调节提供参照，所述弹性件25与所述标定件22背向所述极靴1的一端相连，所述弹性件25用于发生弹性形变以为所述标定件22接触所述极靴1时提供缓冲； 测量仪器4，与所述标定件22及所述极靴1电气连接，用于形成感应回路以在所述标定件22与所述极靴1接触时导通、分离时断开。
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