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湖北芯陶科技有限公司钟博获国家专利权

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龙图腾网获悉湖北芯陶科技有限公司申请的专利一种用于静电卡盘的氧化铝多孔陶瓷制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119841662B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510011547.X,技术领域涉及:C04B38/06;该发明授权一种用于静电卡盘的氧化铝多孔陶瓷制备方法是由钟博;罗子杰;黄珂;黄学良;张荦;李博设计研发完成,并于2025-01-04向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于静电卡盘的氧化铝多孔陶瓷制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于静电卡盘的氧化铝多孔陶瓷的制备方法,通过优化冷冻干燥等工艺参数,以水生成的冰晶作为模板,成功得到了具有均匀孔隙结构、孔隙率和孔径可调、密度小、强度大的多孔陶瓷;本发明还采用氧化铝粉体、增塑剂、分散剂、粘结剂、脱泡剂、增稠剂等为主要原料,调整浆料配方,改善浆料的流动性、成型性和稳定性。此外,通过掺杂烧结助剂,多孔陶瓷还具有良好的介电强度和抗压强度。该方法不仅能够提供优异的热管理性能,而且工艺简单、原料广泛、成本低廉,环境友好,为静电卡盘等提供了一种具有潜在应用潜力的高性能多孔陶瓷材料。

本发明授权一种用于静电卡盘的氧化铝多孔陶瓷制备方法在权利要求书中公布了:1.一种用于静电卡盘的氧化铝多孔陶瓷的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1制备浆料:将100质量份的氧化铝粉体、10质量份的增塑剂、10质量份的分散剂、8质量份的粘结剂、5质量份的脱泡剂、3质量份的增稠剂、100质量份的水混合,球磨混匀得到预混浆料,随后取出100质量份的预混浆料,加入6质量份的烧结助剂,使用球磨机混匀,将球磨完毕的浆料滤出并脱泡,得到具有良好流变性的浆料; S2成型和干燥:将S1中得到的浆料浇注至模具中,放入冷冻干燥机中进行冷冻干燥,该冷冻干燥工艺包括冷冻阶段和升华阶段,所述冷冻阶段为常压,从室温开始降温,设定温度为-100~-80℃,保温时间为1~50h,冷冻阶段的平均降温速率为1~10℃h,所述升华阶段的压强为0.001bar,设定温度为-50~-20℃,保温时间为5~36h,升华阶段的平均升温速率为1~20℃h,然后脱模得到生坯; S3排胶:在排胶炉中以一定的升温速率r1将S2中得到的生胚从室温加热至100~300℃并保温一段时间t1,随后再以一定的升温速率r2加热至400~600℃,并在此温度保温一段时间t2; S4烧结:将S3中的生坯升温至1400~1800℃,保温一定时间,随后自然冷却至室温,最终得到氧化铝多孔陶瓷; 所述烧结助剂包括氧化镁、氧化硅、氧化钛中的一种或多种组合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖北芯陶科技有限公司,其通讯地址为:430057 湖北省武汉市武汉经济技术开发区加工区25MC地块金刚石工具出口加工生产基地项目一期工程A1厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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