富联裕展科技(深圳)有限公司张宗培获国家专利权
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龙图腾网获悉富联裕展科技(深圳)有限公司申请的专利镀膜设备及方法、镀膜件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119824378B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411983784.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权镀膜设备及方法、镀膜件是由张宗培;秦安立;苏昱铭;张胜瑶;贺威;李宝刚;霍凤娟设计研发完成，并于2024-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本镀膜设备及方法、镀膜件在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种镀膜设备及方法、镀膜件，其中镀膜设备包括腔体、架体及至少两个靶材组。架体设于腔体内且包括第一区域，第一区域用于放置基体。两个靶材组设于架体上，两个靶材组相对设置。每一靶材组包括外靶材和内靶材，沿架体的厚度方向，外靶材在架体上的投影位于第一区域外周，内靶材在架体上的投影位于第一区域内。通过设置外靶材在架体上的投影位于第一外周，内靶材在架体上的投影位于第一区域内，基体位于外靶材和内靶材在架体上的投影之间，以使内外靶材形成封闭的磁场回路，磁场的密度增强。可以有效增加镀膜时粒子溅射能量，改善膜层的附着力。
本发明授权镀膜设备及方法、镀膜件在权利要求书中公布了：1.一种镀膜设备，用于在基体上镀膜，其特征在于，所述镀膜设备包括： 腔体； 架体，设于所述腔体内且包括第一区域，所述第一区域用于放置所述基体；及 至少两个靶材组，设于所述架体上，两个所述靶材组相对设置，每一所述靶材组包括外靶材和内靶材，沿所述架体的厚度方向，所述外靶材在所述架体上的投影位于所述第一区域外周，所述内靶材在所述架体上的投影位于所述第一区域内，每一所述靶材组包括两个外靶材和两个内靶材，且每一所述靶材组的所述外靶材和所述内靶材形成封闭磁场回路。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人富联裕展科技(深圳)有限公司，其通讯地址为：518109 广东省深圳市龙华区龙华街道富康社区东环二路2号富士康H5厂房101、观澜街道福城大三社区富士康鸿观科技园B区厂房5栋C09栋4层、C07栋2层、C08栋3层4层、C04栋1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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