江苏微导纳米科技股份有限公司宋广华获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种基片的承载装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119800333B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510221813.1，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种基片的承载装置是由宋广华;黎微明设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片的承载装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种基片的承载装置，包括托盘和框架，所述框架包括框主体，所述框主体包括支撑梁体，所述支撑梁体沿第一方向延伸，所述支撑梁体包括金属梁部和两个夹板梁部，两所述夹板梁部的材质和所述金属梁部的材质不同，两所述夹板梁部分别位于所述金属梁部在第二方向的两侧，且两所述夹板梁部均和所述金属梁部相连，所述金属梁部在第三方向的两个端面分别为第一连接面和第二连接面，所述第一连接面和所述托盘相接触，所述第二连接面和接地部件相接触，所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向之间均呈夹角设置。上述承载装置可以具备较高的耐磨性能，且接地效果相对较佳。
本发明授权一种基片的承载装置在权利要求书中公布了：1.一种基片的承载装置，其特征在于，包括托盘和框架，所述框架包括框主体，所述框主体包括支撑梁体，所述支撑梁体沿第一方向延伸，所述支撑梁体包括金属梁部和两个夹板梁部，两所述夹板梁部的材质和所述金属梁部的材质不同，两所述夹板梁部分别位于所述金属梁部在第二方向的两侧，且两所述夹板梁部均和所述金属梁部相连，所述金属梁部在第三方向的两个端面分别为第一连接面和第二连接面，所述第一连接面和所述托盘相接触，所述第二连接面和接地部件相接触，所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向之间均呈夹角设置。
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