东方晶源微电子科技(上海)有限公司郑惠锋获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(上海)有限公司申请的专利版图图形的处理方法、装置、设备、介质及产品获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119758661B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510159867.X,技术领域涉及:G03F1/36;该发明授权版图图形的处理方法、装置、设备、介质及产品是由郑惠锋;王见明设计研发完成,并于2025-02-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本版图图形的处理方法、装置、设备、介质及产品在说明书摘要公布了:本申请公开了一种版图图形的处理方法、装置、设备、介质及产品,属于图形处理技术领域,该方法包括:获取第一版图图形,第一版图图形为经过光学邻近效应修正算法处理后的图形,其中,第一版图图形的边包括多条非变量边和多条变量边,其中,每条非变量边连接在相邻两条变量边之间;对第一版图图形中的边进行合并操作,将多条非变量边转换为对应的多条新的变量边,得到第二版图图形;对第二版图图形中的至少部分边进行优化,得到第三版图图形,通过将第一版图图形中的非变量边转换为变量边,之后对包括多条新的变量边的第二版图图形进行优化,得到第三版图图形,可以提升在对第三版图图形进行真实曝光后的图形质量。
本发明授权版图图形的处理方法、装置、设备、介质及产品在权利要求书中公布了:1.一种版图图形的处理方法,其特征在于,包括: 获取第一版图图形,所述第一版图图形为经过光学邻近效应修正算法处理后的图形,其中,所述第一版图图形的边包括多条非变量边和多条变量边,其中,每条所述非变量边连接在相邻两条所述变量边之间;所述变量边通过以下方式生成:基于对模版图像中的待修正图形进行光学邻近效应修正算法处理,在所述待修正图形的边中生成多个断点;基于多个断点将所述待修正图形的边打断成的多个线段;对所述多个线段进行边处理生成多条所述变量边; 对所述第一版图图形中的边进行合并操作,以将所述多条非变量边转换为对应的多条新的变量边,得到第二版图图形; 对所述第二版图图形中的至少部分边进行优化,得到第三版图图形; 所述对所述第二版图图形中的至少部分边进行优化,得到第三版图图形,具体为: 对所述第二版图图形中的所述新的变量边进行优化,得到所述第三版图图形;或者 对所述第二版图图形中的所述变量边以及所述新的变量边进行优化,得到所述第三版图图形;或者 对所述第二版图图形中的所述变量边进行优化,得到包括优化后的变量边以及新的变量边的第一子版图图形,对所述第一子版图图形中的所述新的变量边进行优化,得到所述第三版图图形;或者 对所述第二版图图形中的所述新的变量边进行优化,得到包括优化后的边以及变量边的第二子版图图形,对所述第二子版图图形中的所述变量边进行优化,得到所述第三版图图形。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(上海)有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励