浙江创芯集成电路有限公司王依婷获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利炉管监测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119725131B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411874867.X，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权炉管监测设备是由王依婷设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本炉管监测设备在说明书摘要公布了：本公开实施例涉及一种炉管监测设备，其中，炉管监测设备包括：轨道机构，连接在炉管内壁上，所述轨道机构包括多个，多个所述轨道机构间隔设置；座体，与所述轨道机构连接，适于在所述轨道结构上沿炉管周向旋转；摄像头装置，与所述座体连接；切换机构，连接在炉管内壁上，用于将所述座体从一个所述轨道机构切换到相邻的另一个所述轨道机构上。采用上述技术方案，能够对炉管内不同位置的晶圆进行监测，从而提升对炉管中晶圆的监测效率。
本发明授权炉管监测设备在权利要求书中公布了：1.一种炉管监测设备，其特征在于，包括： 轨道机构，连接在炉管内壁上，所述轨道机构包括多个，多个所述轨道机构间隔设置；所述轨道机构包括： 固定轨道，连接在炉管内壁上，所述固定轨道为圆环结构； 转动轨道，嵌设在所述固定轨道的内圈环槽中； 旋转电机，连接在所述固定轨道地面，所述旋转电机的驱动端延伸到所述固定轨道内，并且所述旋转电机的驱动端与旋转齿轮连接，所述旋转齿轮位于所述固定轨道内，并且与所述转动轨道外圈开始的齿槽啮合，所述旋转电机用于驱动所述转动轨道在所述固定轨道上旋转； 座体，与所述轨道机构连接，所述轨道机构用于带动所述座体沿炉管周向旋转； 摄像头装置，与所述座体连接； 切换机构，连接在炉管内壁上，用于将所述座体从一个所述轨道机构切换到相邻的另一个所述轨道机构上。
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