先导薄膜材料(广东)有限公司肖翀获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种钠掺杂铜靶材及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119710585B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411842089.6,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种钠掺杂铜靶材及其制备方法是由肖翀;文崇斌;谢小林;张绍桢设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钠掺杂铜靶材及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于靶材制备领域,公开了一种钠掺杂铜靶材及其制备方法。包括以下步骤:1将铜粉末和含Na粉末混合球磨,然后均质,得到原料混合物;2对原料混合物置于模具中,预压后进行真空热压烧结,得到钠掺杂铜靶材。本发明所制备的靶材,相对密度较高,可达90%以上,组分均匀。
本发明授权一种钠掺杂铜靶材及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种钠掺杂铜靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 1将铜粉末和含Na粉末混合球磨,球磨过程中采用聚氨酯球磨罐,加入直径为10mm、15mm、20mm的锆球;10mm、15mm、20mm的锆球质量比例为1:1:1,球料质量比为1~2:1~2,球磨时间4~6h;然后将球磨罐放入均质机中进行均质,均质时间为4~6h;得到原料混合物; 2将原料混合物置于模具中,预压后进行真空热压烧结,得到钠掺杂铜靶材。
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