买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉富联裕展科技(深圳)有限公司申请的专利磁控溅射镀膜方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119685777B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411897764.5，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权磁控溅射镀膜方法及装置是由张远华;林俊延;罗云设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁控溅射镀膜方法及装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种磁控溅射镀膜方法及装置，方法包括以下步骤：在对靶材施加恒定电流的条件下，基于第一工作参数对待镀膜工件进行镀膜处理，得到第一初始膜层。将第一初始膜层的色差与预设标准色差进行比对。当第一初始膜层的色差与预设标准色差的差值小于或等于预设值时，确定第一初始膜层对应的靶材平均功率。采用恒定的平均功率下，对待镀膜工件进行镀膜处理，得到第一膜层。通过对靶材施加恒定电流，基于预设的工作参数对镀膜工件进行镀膜处理，可以得到进行镀膜处理时的恒定电流，并采用其对应的工作功率，对应镀膜工件进行镀膜处理。可以使靶材电压的震荡更加稳定，从而提高镀膜过程的可控性和一致性。

本发明授权磁控溅射镀膜方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜方法，其特征在于，包括： 在对靶材施加恒定电流的条件下，基于第一工作参数对待镀膜工件进行镀膜处理，得到第一初始膜层； 将所述第一初始膜层的色差与预设标准色差进行比对； 当所述第一初始膜层的色差与所述预设标准色差的差值大于预设值时，调整所述第一工作参数为第二工作参数，并采用第二工作参数并重新进行镀膜处理，得到第二初始膜层； 将所述第二初始膜层的色差与所述预设标准色差进行比对； 当所述第二初始膜层的色差与所述预设标准色差的差值小于或等于所述预设值时，确定所述第二初始膜层对应的靶材平均功率；以及 采用所述第二工作参数，在所述靶材平均功率下，对所述待镀膜工件进行镀膜处理，得到第一膜层； 所述靶材平均功率为形成第二初始膜层时预设时间段内的靶材平均功率； 将所述第一膜层的色差与所述预设标准色差进行比对； 当所述第一膜层的色差不小于所述预设标准色差时，调整所述第二工作参数并重新进行镀膜处理，得到第二膜层； 更换或保养所述靶材； 采用所述第二工作参数，并在所述靶材平均功率下，对所述待镀膜工件进行镀膜，得到第三初始膜层； 当所述第三初始膜层的色差与所述预设标准色差的差值大于预设值时，调整所述第二工作参数为第三工作参数； 采用所述第三工作参数进行镀膜，得到第三膜层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人富联裕展科技(深圳)有限公司，其通讯地址为：518109 广东省深圳市龙华区龙华街道富康社区东环二路2号富士康H5厂房101、观澜街道福城大三社区富士康鸿观科技园B区厂房5栋C09栋4层、C07栋2层、C08栋3层4层、C04栋1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。