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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利取环系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119650473B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411824604.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权取环系统是由陈聪;郭东谕;李平;宋喆宏设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本取环系统在说明书摘要公布了：本公开实施例提供了一种取环系统，其中，取环系统包括：载台，适于放置晶圆，晶圆包括：晶圆主体以及太古环，晶圆的一侧具有薄膜；取环夹具，取环夹具包括：取环件，当取环件的第一端到达晶圆主体的外沿处时，取环件的第一端面在第一端处与晶圆主体一侧的薄膜之间具有第一间距，第一间距大于晶圆主体外沿的厚度；第一调节组件，用于驱动取环件沿第一方向移动，第一方向为载台的径向；第二调节组件，第二调节组件的一端与第一调节组件连接，另一端与取环件连接，取环件适于通过第二调节组件沿第二方向移动，第二方向为载台的轴向；主体部，主体部与第一调节组件连接，用于驱动取环件转动。采用上述技术方案，能够取下太古环。

本发明授权取环系统在权利要求书中公布了：1.一种取环系统，其特征在于，包括： 载台，所述载台适于放置晶圆，其中，所述晶圆包括：晶圆主体以及太古环，所述晶圆的一侧具有薄膜； 取环夹具，所述取环夹具包括： 取环件，当所述取环件的第一端到达所述晶圆主体的外沿处时，所述取环件的第一端面在所述取环件的第一端处与所述晶圆主体一侧的薄膜之间具有第一间距，其中，所述第一间距大于所述晶圆主体外沿的厚度； 第一调节组件，所述第一调节组件用于驱动所述取环件沿第一方向移动，其中，所述第一方向为所述载台的径向； 第二调节组件，所述第二调节组件的一端与所述第一调节组件连接，另一端与所述取环件连接，所述取环件适于通过所述第二调节组件沿第二方向移动，其中，所述第二方向为所述载台的轴向； 所述第二调节组件包括： 滑动件，所述滑动件与所述第一调节组件的导向槽滑动配合； 导向杆，所述导向杆的第一端设置于所述滑动件内，适于沿所述第二方向相对所述滑动件移动，所述导向杆的第二端与所述取环件连接； 弹性件，所述弹性件套设于所述导向杆上，且以压缩状态夹设于所述滑动件与所述取环件之间； 主体部，所述主体部与所述第一调节组件连接，用于驱动所述取环件转动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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